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Toyo模组最新消息
一、2026 慕尼黑上海电子展(2 月)重磅新品(核心)
1. LTS22/ETS22 精密铸铁模组(Q1 量产)
定位:半导体检测、精密测量、高刚性产线
核心:铸铁基座 + 精密线性导轨,抑振 + 长期稳定性大幅提升
精度:重复定位 **±0.002mm**,直线度 **±0.01mm**
负载:水平最大120kg,行程最长2000mm
场景:晶圆检测、光刻机工作台、精密量测仪器
2. LBT 超精密气浮平台(纳米级)
技术:空气轴承,无接触、零摩擦、零磨损
精度:定位 **±5nm**,重复定位 **±2nm**
洁净:CLASS 1,适配 7nm 以下制程
场景:光刻机、晶圆检测、高精度贴合、面板检测
3. CAB‑XY300 共面气浮平台(创新)
设计:X/Y 轴气浮运动共面集成,刚性更强、误差更小
优势:平面度 **±1μm**,速度1000mm/s,加速度1G
场景:先进封装、激光加工、光学检测
二、主力系列 2026 技术升级(量产 / 即将量产)
1. 无尘系列(半导体 / 医疗)
GCH 增强版:外部负压抽尘,洁净度CLASS 1,适配 7nm+
ECB22 无尘皮带:CLASS 10,行程3500mm,承重85kg,速度3m/s
ECH2 二代:真空吸引 CLASS 10,支持定制开放型
2. 直线电机 G 系列(高速高精)
G 系列(有铁芯):速度5000mm/s,精度 **±0.002mm**,年产能30 万台
GLTH 扁平型:动子滑座一体化,散热 **+60%**,低重心、强刚性
无铁芯系列:零齿槽,超平稳,适配激光 / 精密检测
3. 丝杆模组(通用高精度)
GTH 轨道内嵌:一体钢材 + 研磨滑轨,直线度 **±0.02mm**,精度 **±0.003mm**
ETH2/ECH2 二代:ETH2 双滑轨,水平负载110kg,精度 **±0.005mm**
4. 智能 IoT 升级(2026Q2‑Q4 落地)
内置传感:温度 / 振动 / 负载实时监控,预测性维护
AI 算法:轨迹优化,效率 **+15%、能耗‑20%**
通讯:支持脉冲 / LS/485/IO/EZK 总线,快速集成
3D 选型:SW/UG 模型库,2 小时完成设计,效率 **+70%**
三、产能与市场(2026)
生产基地:台湾新吉 / 台南、江苏昆山、日本福冈
规模:年销售额约11 亿元,G 系列年产能30 万台,现货储备1 亿元
重点赛道:
半导体:7nm 制程配套,气浮 / 铸铁模组加速渗透
新能源:锂电 / 光伏国产化率35%+
3C / 面板:高速高精模组,良率99.8%
四、选型速览(2026 主流)
| 系列 | 类型 | 核心优势 | 精度 | 速度 | 场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| LTS22 | 铸铁丝杆 | 超高刚性、抑振 | ±0.002mm | 1500mm/s | 半导体检测、精密测量 |
| G 系列 | 直线电机 | 超高速、零间隙 | ±0.002mm | 5000mm/s | 3C、激光、光伏 |
| LBT | 气浮平台 | 纳米级、无尘 | ±2nm | 1000mm/s | 光刻机、晶圆检测 |
| GTH | 丝杆内嵌 | 高刚性、低振动 | ±0.003mm | 1500mm/s | 精密装配、检测 |
| ECH2 | 无尘丝杆 | CLASS10 洁净 | ±0.005mm | 1000mm/s | 半导体洁净室 |
| ECB22 | 无尘皮带 | 大行程、高速 | ±0.01mm | 3000mm/s | 面板、医疗 |
五、近期展会(2026 年 3 月)
成都工博会:3 月 11‑13 日,西博城 14H 馆,展示 LTS22、G 系列、气浮平台