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toyo奈米定位平台LBT
2026-11-05 08:46:24
toyo管理员
TOYO LBT 是東佑達奈米（TOYO NANO）旗艦靜壓空氣軸承單軸氣浮平台，線性馬達直驅、非接觸氣膜支承，是整套奈米線裡面最高階的一支，和 ETS、LTS / LTSU 機械導軌平台有明確分界。
LBT氣浮平台
基礎架構與兩個主型
只有兩個標準本體：LBT210、LBT275
LBT210：台面 210×210 mm，最大負載 25 kg，耗氣＜25 L/min
LBT275：台面 275×275 mm，最大負載 50 kg，耗氣＜35 L/min
行程：50～500 mm，每 50 mm 一檔
供氣：0.55 MPa 乾淨乾燥壓縮空氣，也可使用氮氣
驅動：無鐵芯線性馬達，無齒槽力；搭配雷尼紹光學尺全閉環，解析度三檔可選：0.5 / 0.1 / 0.05 μm
精度分三級：ST（標準）、NP（精密）、UP（超精密）
關鍵精度（UP 超精密版）
重複定位：±0.1 μm
補償後絕對定位：±0.15 μm（短行程）
直線度、平面度：0.5 μm / 300 mm
Pitch、Yaw：最低可到 ±0.5 arcsec
速度漣波：0.1% @100 mm/s，低速走掃極穩
動態：最高速度 2 m/s、加速度 20 m/s²，整定極快
無塵：標準可達 Class 1，完全無油、無粉屑，適合先進製程潔淨室