TOYO 无尘模组系列无尘等级全解析
2025-11-27 10:08:22
toyo管理员
TOYO (东佑达) 无尘模组主要分为三大系列,各系列采用不同技术实现不同等级的洁净度,满足从一般百级到超净级的各类精密制造需求:
标准无尘等级:Class 10 (ISO 4 级) TOYO东佑达
增强模式:Class 1 (ISO 3 级) (外接负压系统时)
技术特点:
轨道内嵌式设计,减少运动部件暴露
外部可加装负压接头,连接真空源主动抽取内部灰尘
特殊钢带结构,大幅降低粉尘产生
应用场景:半导体晶圆搬运、光刻机精密定位、医疗无菌设备、食品药品生产线
标准无尘等级:Class 10 (ISO 4 级) TOYO东佑达
增强模式:Class 1 (ISO 3 级) (外接负压系统时)
技术特点:
封闭式设计结合特殊润滑系统,抑制粉尘
C7 级精密丝杆,定位精度达 ±0.005mm
可选配负压系统,进一步提升洁净度
应用场景:精密检测设备、光学仪器组装、医疗设备制造
晶圆搬运:GCH 系列 (Class 1),避免污染晶圆表面
PCB 板检测:ECB 系列 (Class 10),满足千级洁净要求
IC 封装:ECH 系列 (Class 10),确保焊点精度和洁净度
根据应用场景的洁净度需求选择合适系列:
TOYO 无尘模组通过三大系列(ECB、GCH、ECH) 覆盖了从Class 10 到 Class 1的全等级洁净需求,其技术核心在于封闭式设计、特殊材料应用和可选负压系统。
ECB 系列:皮带传动,Class 10 标准,适合一般精密场景
GCH 系列:轨道内嵌 + 钢带,标准 Class 10,负压可达 Class 1,应用最广泛
ECH 系列:丝杆传动,标准 Class 10,负压可达 Class 1,定位精度最高
TOYO 无尘模组已通过 SGS 等第三方认证,确认符合相应洁净度标准 ,是半导体、医疗、显示面板等对洁净度要求严苛行业的理想选择。