新闻资讯 发布时间：2026-03-05
一、2026 慕尼黑上海电子展（2 月）重磅新品（核心）1. LTS22/ETS22 精密铸铁模组（Q1 量产）定位：半导体检测、精密测量、高刚性产线核心：铸铁基座 + 精密线性导轨，抑振 + 长期稳定性大幅提升精度：重复定位 **±0.002mm**，直线度 **±0.01mm**负载：水平最大120kg，行程最长2000mm场景：晶圆检测、光刻机工作台、精密量测仪器2. LBT 超精密气浮平台
