新闻资讯 发布时间：2026-08-25
项目案例 1：晶圆测试设备 XY 检测平台（长川科技）客户工况半导体测试机，8/12 英寸晶圆探针检测，晶圆台高速扫描定位，洁净车间 Class10 环境，要求低发尘、低振动、重复定位 ±0.003mm 以内。选用产品：ECH 无尘丝杆模组 + LGF 无铁芯直线电机模组，XY 龙门平台东佑达机器...工艺流程：XY 平台承载晶圆载台高速往复扫描探针卡接触晶圆 die，完成电性测试不良标记，完成整
